画面例
HPCVD
LPCVD
IBS
RIE
RTA
MBE
HVPE
LAZER_ANEAL
IFC16
POWER_LOGER
ガス検ロガー
シャッター回転
HPCVD
高圧酸化炉例
石英チューブを2気圧まで加圧してプロセスを行います。
精密な圧力制御で安全に加圧・減圧することが可能です。
LPCVD」
LPCVD例
IBS
イオンビームスパッタ装置例（パソコン制御）
RIE
Reactive Ion Etching 装置例
RTA
Scanning rapid thermal anneal
MBE
MBE（チャンバーVG社）
HVPE
HVPE例
LAZER_ANEAL
エキシマレーザを使ったスキャニングレーザーアニール
IFC16
パソコンを利用した流量コントローラ
レシピ作成が可能です。
Power Logger
電流・電圧・電力を24H/365日ロギングします。（MBE向け）
ガス検ロガー
ガス検知器のデータを24H/365日ロギングします。
シャッター回転
MBE装置向けのシャッター・回転コントロ-ラで、VG社等のリプレースが可能です。
（PLC+タッチパネル）