画面例
メイン操作画面
全自動運転、基板のハンドリング、基本操作を行います。
指定時間に決められた操作を開始することが可能です。（スケジュール機能）
全自動運転のバッチは任意のタイミングで追加することが可能です。
セル操作画面
各セルの温度、シャッター操作、膜厚計の操作、昇温シーケンスのコントロールを行います。
最大で5元の共蒸着が容易に行うことが可能で、全自動蒸着中に手動で蒸着するハイブリッド成膜が可能。
最終膜厚は、トータル膜厚又は指定材料の膜厚を任意に指定することが可能。
Material Library
材料毎に様々なパラメータを登録することが可能です。
温度・レートテーブルは最大で5種類まで登録可能。
セルシャッターの汚染を最大限防ぐために、クローズ時の条件を設定可能。
レシピ編集画面
チャンバー単位のレシピをステップ単位で設定します。
各ステップ（レイヤー）単位に、蒸着膜厚、材料、レート、安定条件を設定します。
デバイスレシピ編集
複数のチャンバーレシピを、組み合わせて一つのデバイスレシピを作成します。
前処理の指定も行うことが可能です。
シーケンス編集画面
各チャンバーの自動排気、クライオ再生、自動ベント等のシーケンス編集が可能です。
シーケンスの開始条件、シーケンスのステップを詳細に設定が可能。
ユーザによる内容変更が可能です。
警報動作設定画面
システムのアラーム、ワーニング等を設定することが可能です。
警報の発報条件、動作等を詳細に設定することが可能です。
発報条件としては、信号源、遅延設定等が設定可能です。
ユーザーによる設定変更が可能です。
ログビューワー(3元共蒸着例)
データは24時間、365日サンプリングされ過去のデータを見ることが可能です。
ログビューワー(データ解析機能)
指定された範囲の最大値、最小値、平均値及びバラツキ度の表示が可能です。
リアルタイムでの表示も可能です。