micrologic

Main Screen

システムを操作します。バルブ、ポンプ、流量、温度等のオペレーションが可能です。

チャンバー情報

チャンバー情報の表示・操作が可能です

インターロック設定

バルブ、ポンプ等のインターロックを設定します。
ユーザーによる編集が可能です。

MO管理

MO（有機金属）の残量管理が可能です

警報設定

システムの警報・ワーニングを定義します。
警報の発報条件、動作等を詳細に設定することが可能です。
発報条件としては、信号源、遅延設定等が設定可能です。
ユーザーによる設定変更が可能です。

MO材料設定

有機金属材料の物性パラメータ、使用するMFCを設定します。

流量セット

レシピ編集時に一括して流量をセットすることが出来ます。