micrologic

メイン操作画面

温度、シャッター、自動成長動作の設定等行います。

レシピ編集画面

各ステップ毎にステップ時間、セル温度、シャッターOpen/Close 等を設定します。
ステップの再帰的な繰り返しを設定可能です。

データログ画面

真空度、温度のデータ表示が可能です。

温度情報

加熱中の温度関係の情報を表示します。

設定1

温度コントローラの設定を行います。

設定2

温度コントローラのセルに割り当てます。
2Zoneセルの場合はTop/Bottomを指定します。

設定3

セルの配置を設定します。
セルを物理的に移動した場合でも、本設定で変更すれば対応完了です。

設定4

温度ゾーン毎にPID値を設定が可能です。
エリア分けは最大で10まで可能。

設定5


警報等をメールにて送信することが可能です。
（gmailのアカウントが利用可能）

設定6

イオンゲージの設定を行います。

設定7


外部への出力信号を設定します。