micrologic

メイン画面

各セルの温度制御、シャッターの操作及び自動運転の操作を行います。

メイン画面

各ステップ（レイヤー）単位に、蒸着膜厚、材料、レート、安定条件を設定します。

Material Library

材料毎に様々なパラメータを登録することが可能です。
温度・レートテーブルは最大で5種類まで登録可能。
セルシャッターの汚染を最大限防ぐために、クローズ時の条件を設定可能。